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1) 最小线间距:50μm(在FR4 板材18μm铜箔上)
2) 最小线宽:50μm(在FR4 板材18μm铜箔上)
3) ******加工区域:320mm×320mm
4) 重复定位精度:≤±2μm
5) 系统定位精度:≤±5μm
6) 最高加工速度:8.5 cm2/min(在FR4 板材18μm铜箔上)
7) 激光波长:1064 nm
8) 激光平均输出功率:30W
9) 工作频率:20-80kHz
10) 激光预热时间:10s
11) 使用高端数字扫描振镜
12) 使用高端远心透镜
13) 采用全密封光路
14) 运动平台分辨率:0.5µm
15) 振镜分辨率:20μrad
16) 使用大理石基座
17) X、Y、Z轴使用高精度伺服电机及驱动器
18) X、Y、Z轴使用C5级导轨
19) 配有立式机罩
20) 配有镜头保护风幕
21) 配有工业吸尘系统
22) 配有高分辨率摄像头及漫反射光源
23) 有摄像头靶标定位功能
24) 加工头吸附于工作台吸附独立切换
25) 采用前后进风、双侧排风散热方式
26) 有开盖自动停止保护功能
27) 配有工业控制计算机及显示器
28) 配有真空吸附平台
29) 软件:Circuit Workstation
30) 电源:220VAC/50Hz
31) 功率:1.7kW(不包括吸尘系统)
32) 外形尺寸:1450*1320*1500mm
33) 重量:450kg
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